ASML回应荷兰最新出口管制:不适用于所有DUV(组图)

在跟美国政府达成协议1个多月后,当地时间3月8日,荷兰政府以“国家安全”为由,宣布将对包括“最先进”的深紫外光刻机(DUV)在内的特定半导体制造设备实施新的出口管制。

这意味着,荷兰方面已将光刻机出口管制的范围,由最先进的极紫外光刻机(EUV)扩大到了DUV。

由于DUV仍占很大出货比重,荷兰光刻机巨头ASML很快发布声明,称该公司需要申请许可证,才能出口最先进的浸没式DUV光刻机,但新的出口管制,并不适用于所有的浸没式DUV,而只是针对“最先进的”。


ASML官网截图

根据路透社等外媒的报道,当地时间3月8日晚间,荷兰外贸与发展合作大臣施赖纳马赫尔(Liesje Schreinemacher)在致荷兰议员的一封信中称,“鉴于技术发展和地缘政治背景,政府得出结论,为了(国际)国家安全,有必要扩大对特定半导体制造设备的现有出口管制。”

施赖纳马赫尔宣称,荷兰政府希望阻止荷兰技术被用于军事系统或大规模杀伤性武器(这与美国去年10月实施出口管制的理由类似),同时希望保持“荷兰的技术领先地位”,为此将建立国家出口管制清单。

这封信并未提及任何国家和公司,但美国政治新闻网站《政客》(Politico)认为,荷兰此举是迫于美国的压力。就在本月初中荷外长会面时,荷兰外交大臣胡克斯特拉还表示,荷兰将继续根据本国利益在具体项目上独立作出判断。

实施新出口管制,显然会对荷兰半导体设备企业造成影响,尤其是光刻机巨头ASML。施赖纳马赫尔在前述信中透露,新的出口管制措施包括最先进的DUV,这些措施将在今年夏天之前实施。

观察者网查询ASML财报发现,2022年,EUV光刻机仅占该公司出货量的10%,DUV仍是出货主力。


ASML财报截图

考虑到DUV仍然有庞大的出货量,ASML也迅速对新的出口管制做出回应。该公司在一份声明中称,这些新出口管制主要针对先进的芯片制造技术,包括最先进的沉积和浸没式光刻工具。

由于这些即将出台的法规,ASML将需要申请出口许可证才能装运最先进的浸没式DUV系统。

ASML在声明中强调,新出口管制并不适用于所有的浸入式光刻工具,而只适用于所谓“最先进的”,并且这些管控措施转化为立法并生效还需要时间。

虽然ASML尚未收到任何关于“最先进”确切定义的更多细节,但该公司将其解释为“关键的浸没式系统”(critical immersion),即“资本市场日”中定义的TWINSCAN NXT:2000i和后续推出的浸没式系统。

这或许意味着,TWINSCAN NXT:1980Di等更成熟的浸没式DUV机型不在受限范围。


ASML主流浸没式DUV设备 官网截图



观察者网查询方正证券2020年6月发布的研报发现,TWINSCAN NXT:2000i DUV(双工作台深紫外光刻机)曾是ASML最先进的浸没式光刻系统,也是EUV光刻机之前的重要过渡产品,同时是后期7nm/5nm产能的重要补充。这种机型在2018年就已开始出货,被视为可用于生产7nm等制程。

在复旦大学微电子学院2022年5月发表的一篇论文中,作者提到,在没有获得极紫外光刻机(EUV)的情况下,芯片代工厂都是利用浸没式DUV光刻机,多次曝光实现7nm逻辑芯片的光刻工艺流程。



ASML光刻机型号(资料图)

ASML官网显示,TWINSCAN NXT:2000i专为与EUV混合使用而设计,可为高级逻辑和DRAM节点的大批量制造提供出色的覆盖、聚焦控制和交叉匹配。比这款光刻机更先进的型号是TWINSCAN NXT:2050i,该系统满足多种图案化要求,为在高级逻辑和DRAM节点制造300毫米晶圆提供经济高效的解决方案。

在前述声明中,这家荷兰光刻机巨头提到,主要关注成熟制程的客户,可以使用不太先进的浸没式光刻工具,因此最新的出口管制并未影响该公司2023年的财务前景。

但不能自由出货,ASML在华收入不可避免受干扰。该公司预计2023年中国大陆销售额将保持在22亿欧元左右(约合人民币162亿元),而全球总销售额将增长25%,因为主要客户台积电和英特尔都在扩产。

根据ASML财报,2022年该公司共出货345台光刻系统,其中有81台浸没式DUV光刻机(ArFi),占比为23%。所有产品中,42%销往中国台湾,29%销往韩国,14%销往中国大陆,销往美国的只有7%。

今年2月,在接受欧洲媒体采访时,ASML首席执行官温彼得直言,如果美国及其盟友切断中国(大陆)获得某些半导体和半导体制造技术的渠道,中国将被迫加倍努力开发自主技术。他坦言,虽然出口管制是合法工具,但不应该被滥用,决策者在“摆弄”半导体供应链之前应充分了解它的复杂性。

“重要的公司应该知道自己面临着什么,并有时间适应新规则。”荷兰外贸与发展合作大臣施赖纳马赫尔在前述致议员的信中称,荷兰政府已经决定采取“尽可能谨慎和精确的措施……避免不必要的价值链中断。”

路透社援引所谓国外消息人士称,日本最快也将于本周发布最新芯片设备出口政策。

针对今年1月美日荷三国达成对华出口限制的协议,中国半导行业协会曾发布声明称,此举如果成为现实,在对中国半导体产业造成巨大伤害的同时,也将对全球产业及经济造成难以估量的伤害,对全球最终消费者的利益造成长期伤害。中国半导体行业协会反对这一破坏现有全球半导体产业生态的行为。

中国外交部发言人毛宁也曾回应指出,美国为了维护自己霸权和私利,滥用出口管制,胁迫、诱拉一些国家组建遏制中国的小圈子,将经贸科技问题政治化、武器化,严重破坏市场规则和国际经贸秩序。中方对此坚决反对,也希望有关方面从自身的长远利益和国际社会的共同利益出发,审慎行事。

推荐阅读